秦卓欢(同济大学建筑设计研究院 上海200092)
【摘 要】 本文结合了某微电子厂房洁净室空调系统的实例，分析了洁净室的净化空调设计原理，并对气流组织方式、空气处
理过程、排风排烟系统进行了阐述和讨论。
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【关键词】 洁净室 空调设计 风机过滤单元机组(FFU) 干式冷盘管
1 工程概况
该微电子工厂主要从事芯片的设计、开发、制造、 销售和技术服务。新主厂房建成投产后，集成电路生产技术水平从现在的 1．2微米提升到0．8微米。厂区包括主厂房、化学品库、动力厂房、行政办公楼等。 主厂房为三层建筑，从下至上依次为动力下技术夹层、洁净下技术夹层、洁净室，其中洁净室面积约为 5000m ，洁净等级分为ISO 6级(1000级)和 ISO 7级(10000级)，其主要室内设计参数详见表 l。
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